磁场发生/屏蔽和磁性测量系统
 
                                                        
  主动隔振平台(SEM/TEM/UHV-STM主动减振系统)

通常的被动减振体系如图所示,由需要减振的装置(mass M)和一个弹簧阻尼单元组成,它可以 减小来自地板的高频振动。但由于这种体系会在 本征频率时引起共振而增加振动,通常被动减振 体系会设计成 2 Hz 到 5 Hz 的本征频率和 1%到 5%的轻微阻尼。主动减振体系是用一个调节器代替了粘滞阻尼器,根据 sky-hook 阻尼控制理 论,将减振装置(mass M)绝对速度的比例量作 为反馈作用于减振装置,这样大大提高了减振的效果。


高级主动隔振系统采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。
最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中最敏感仪器的行业标准解决方案。

通用应用领域:
扫描探针显微技术 , 纳米力学探针 , 扫描电子显微技术 ,共聚焦显微术 ,超高真空扫描隧道显微术,  激光扫描显微镜 ,液晶生产设备 ,半导体检测仪器 ,膜片钳 (Patch-Clamp)技术 ,光学轮廓仪 ,生命科学显示平台 ,显微硬度检测仪,光学干涉仪 ,超微量天平等等。







   
              English中文
Copyright © Lintronics Technology HongKong Limited 2009 All rights Reserved